艾邁斯歐司朗與愛思強宣布,面向Micro LED應用的200mm晶圓AIXTRON G5+ C和G10-AsP系統已獲艾邁斯歐司朗認證

全球領先的光學解決方案供應商艾邁斯歐司朗和半導體行業沉積設備領先供應商愛思強（AIXTRON SE）近日聯合宣布，200mm晶圓AIXTRON G5+ C和G10-AsP系統已獲得艾邁斯歐司朗的認證，可用于滿足Micro LED應用需求。

愛思強的MOCVD系統AIX G5+ C和全新G10-AsP提供AIXTRON行星衛星式氣浮旋轉水平技術（Planetary Technology），為下一代高分辨率Micro LED顯示屏鋪平了道路。早在2022年第一季度，艾邁斯歐司朗宣布200mm產能增建計劃，在馬來西亞現有工廠實現LED和Micro LED產能。MOCVD系統有望助力實現Micro LED的批量生產，打造出新一代顯示應用。

艾邁斯歐司朗執行副總裁兼光電半導體業務負責人Robert Feurle表示：“愛思強和艾邁斯歐司朗保持著長期的合作關系，我們熟悉其設備的性能和質量標準。對于任務艱巨的項目，例如開發和生產適用于AsP和GaN器件的Micro LED，愛思強正是我們需要的合作伙伴?！睈鬯紡娛紫瘓绦泄偌婵偛肍elix Grawert博士補充道：“G10-AsP和AIX G5+ C已成功獲得艾邁斯歐司朗的認證，這是我們公司歷史上一個非常重要的里程碑。艾邁斯歐司朗是全球領先的LED制造商，完全有能力將全新的基礎性技術推向市場。我們正面臨著從傳統顯示技術向新型Micro LED顯示技術的重大轉變。如今，愛思強正在邁入一個潛力巨大的未來增長市場，而且我們還有一位理想的合作伙伴與我們攜手共進?！盡icro LED具備非常顯著的優勢，例如更高的像素密度、更長的使用壽命、更高的亮度、更快的開關速度和更寬的色譜，進一步提升顯示技術。相對能耗低也是一項重要優勢，使得Micro LED技術非常適合用于下一代配備較小顯示器的消費電子設備，通常這些設備為電池提供的空間非常有限。Micro LED有著特殊的生產要求：在其量產過程中包含一個特殊的批量轉移工藝步驟，數千個微米尺寸的LED芯片（陣列）被拾放。任何缺陷都可能導致像素壞死，使整個陣列變得無用。因此，必須使用幾乎無誤差的外延工藝，使缺陷最小化，支持高成品率和符合經濟效益的Micro LED生產。愛思強的新型G10-AsP外延工具經過精心設計，旨在滿足這項應用的特殊需求。這項全新工具是世界首款全自動AsP反應器，提供全自動“檢測盒到檢測盒”（cassette-to-cassette）晶圓裝載以及基于原位蝕刻的清潔機制。這兩個特性結合在一起會對成品率產生顯著影響。此外，間歇式反應器技術還為愛思強系統帶來了多項優勢：其每片晶圓的生產成本在當前市場上屬于最低級別，而單位潔凈室面積吞吐量為最高級別。同時，該新工具擁有精確的流量和溫度控制功能，能在連續運行時保持非常好的材料均勻性。