由于MEMS壓力傳感器的制作過程中存在著許多不可控因素，例如，制備環境、工藝誤差、設備誤差等，因此，整個MEMS壓力傳感器的穩健優化設計是極其重要的。本文對電容式MEMS壓力傳感器進行優化設計，以期為后續研究開發電容式MEMS壓力傳感器奠定必要的基礎依據。
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202305 MEMS 壓力傳感器 電容式 優化設計
據麥姆斯咨詢報道，使用雷達傳感器監測生命體征的研究已經進行了幾十年。該技術能夠對心跳和呼吸頻率進行持續的非接觸式監測，并具有低功耗和小PCB尺寸的優勢。憑借創新的60 GHz雷達傳感器，其在消費電子產品中的應用正在成為現實。在老齡化社會中，健康監測將發揮越來越重要的作用。健康問題最好能在早期階段被發現，從而避免住院或至少盡可能縮短住院時間。人們希望在自己熟悉的環境中過著自主和獨立的生活，直到晚年。此外，年輕人對更加個性化和自主的醫療服務感興趣。通過隨時監測健康狀態，人們有可能在早期發現疾病和精神壓力并采取
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MEMS 傳感器
下面幾種測溫方法，都不能完全適用于芯片各環節的溫度檢測，那么，如何才能實現精準高效測溫？芯片溫度檢測，你都知道哪些方法？● 使用熱電偶測量（接觸式測溫，易產生誤差）● 參照經典的結溫方程（TJ = TA + PD?JA ）計算溫度（相對保守，與實際溫度差別較大）● 利用二極管作為溫度傳感器來檢測（只適用于某些特定情況）紅外熱像儀是一種非接觸的測溫儀器，可以通過對物體表面的熱（溫度）進行分布成像與分析，直接“看見”芯片的溫度分布。芯片熱
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MEMS 芯片溫度檢測
狀態監測是當今使用機械設施和技術系統（例如使用電機、發電機和齒輪）的核心挑戰之一。計劃維護對于最大限度地降低生產停機風險變得越來越重要，不僅在工業領域，而且在使用機器的任何地方。除此之外，還分析了機器的振動模式。狀態監測是當今使用機械設施和技術系統（例如使用電機、發電機和齒輪）的核心挑戰之一。計劃維護對于最大限度地降低生產停機風險變得越來越重要，不僅在工業領域，而且在使用機器的任何地方。除此之外，還分析了機器的振動模式。齒輪箱引起的振動通常在頻域中被感知為軸速度的倍數。不同頻率的不規則性表明零件磨損、不平
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MEMS
據麥姆斯咨詢介紹，在當下的“萬物電氣化（electrification of everything）”時代，傳感器已成為一個必不可少的先決條件：汽車、巴士、摩托車、無人送貨車、建筑機械和許多其它車輛配備越來越多的傳感器，以實現安全且舒適的輔助駕駛/自動駕駛。全面的感知能力對于支持運動檢測、定位、導航、數據融合等許多用途至關重要。為此，松下機電（Panasonic Industry）開發出汽車類6軸MEMS慣性傳感器系列，即MEMS慣性測量單元（IMU），該系列產品通過單芯片解決方案面向車載領域的功能安全（
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松下 傳感器 MEMS
近些年，MEMS加速度計因其體積小、功耗低、易于與互補金屬氧化物半導體晶體管集成電路（CMOS IC）整合而受到持續關注。目前已經開發了電容、壓阻、壓電、光學等原理的加速度計，以檢測輸入加速度引起的檢測質量塊位移。在這些技術中，光學方案已被證明具有更高的精度和穩定性，并且不會受到電磁干擾（EMI）。近些年，MEMS加速度計因其體積小、功耗低、易于與互補金屬氧化物半導體晶體管集成電路（CMOS IC）整合而受到持續關注。目前已經開發了電容、壓阻、壓電、光學等原理的加速度計，以檢測輸入加速度引起的檢測質量塊位
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MEMS 硅納米波
基于電阻抗的細胞分析是一種無標記、非侵入性技術，已廣泛用于分析和識別各種應用中的細胞特征，如組織培養、細胞生長及活力檢測等。微流控技術能夠將涉及樣品制備、操作和基于阻抗檢測的分析過程集成到單片芯片上，最大限度地減少系統尺寸、重量。據麥姆斯咨詢報道，近期，中國科學院上海微系統與信息技術研究所的研究人員于《功能材料與器件學報》發表論文，搭建了一種簡便的微流控電阻抗檢測系統，可根據電學差異對體積相近的不同微粒進行區分，具有成本低、易集成、非標記等優勢，未來可進一步用于現場細胞即時檢測。微流控芯片的設計與制作采用
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MEMS 微流控
增強現實（AR）和虛擬現實（VR）技術近年在產業界和學術界吸引了極高的關注度，它們豐富了現實世界環境，或用模擬環境替代現實世界。然而，AR/VR設備存在的端到端延遲會嚴重影響用戶體驗。尤其是動顯延遲（Motion-to-photons latency，定義為從用戶發生動作到該動作觸發的反饋顯示在屏幕上所需要的時間），它是限制AR/VR應用的主要挑戰之一。例如，動顯延遲高于20 ms就會導致用戶惡心或眩暈。因此，減少動顯延遲對于改善用戶的虛擬體驗至關重要。減少動顯延遲的一種常見方法是通過預判用戶的移動來預測
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MEMS 傳感器
荷蘭 埃因霍溫，中國 濟南，2022年11月15日——業界領先的環境和高精度流量和時間測量傳感芯片廠商睿感（ScioSense）今日宣布，推出采用緊湊型封裝的內置溫度傳感器的超低功耗壓力傳感器--ENS220，可提供卓越的測量速度、分辨率和精度。 ENS220將在慕尼黑電子展（electronica，11月15-18日慕尼黑）B3.419號ScioSense展臺展出。 該傳感器采用業界主流的2.0mm×2.0mm尺寸LGA封裝，適用于移動設備和可穿戴設備，如智能手表和腕帶、GPS導航系
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睿感 ScioSense CMOS-MEMS 壓力傳感器
據麥姆斯咨詢報道，近日，中北大學譚秋林教授團隊在《中國激光》期刊上發表了題為“雙通道非分光紅外CO2氣體傳感器設計與測試”的最新論文，文中設計實現了一種微型雙通道非分光紅外（NDIR）CO2氣體傳感器，采用標準氣體濃度標定傳感器的方法，實現了傳感器的溫度補償，使其能夠在不同溫度與不同濃度的環境下進行精確測量?；诩t外吸收原理的氣體傳感器具有選擇性高的突出優勢，但面臨集成度不高、尺寸大、精度低以及核心部件依賴進口等問題。國內目前普遍采用進口傳感器，或者購入半成品二次加工。近年來，在各大研究機構與高校的努力下
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MEMS 傳感器
據麥姆斯咨詢報道，近日，亞利桑那州立大學（Arizona State University）介紹了一種片上模擬-信息轉換技術，該技術利用基于儲層計算范式的模擬超維計算，在本地傳感器內處理心電圖（electrocardiograph，ECG）信號，并將射頻（RF）傳輸減少三個數量級以上。片上模擬-信息轉換器不是傳輸稀疏的ECG信號或提取的特征，而是通過一個附有人工神經網絡的非線性存儲內核來分析ECG信號，并傳輸預測結果。所開發的技術被證明可用于檢測敗血癥發作，并實現了超高的準確度和能效，同時使用65nm C
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MEMS 傳感器
據麥姆斯咨詢報道，近期，韓國首爾國立大學（Seoul National University）開發了一種基于三重采樣Δ-Σ ADC的數字電容式MEMS麥克風，其中的讀出電路采用0.18μm CMOS工藝制造，面積為0.98mm2，在94dBSPL、520μA電流消耗下，A加權信噪比（SNR）為62.1dBA，三重采樣可提高4.5dBA的信噪比。MEMS麥克風已經成為智能手機和平板電腦的標配，也廣泛應用于汽車和醫療設備中。與駐極體電容式麥克風（ECM）相比，MEMS麥克風更易于集成、更可保證性能一致性且尺寸
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MEMS 麥克風
近些年，近紅外光譜分析技術得到了迅猛發展，該技術可直接對氣體、液體和固體等各種復雜混合物進行定性和定量分析，具有分析速度快、效率高，可實現無損和在線分析等優勢，在科研和工農業生產中發揮著越來越重要的作用。近紅外光譜分析儀的微小型化是一個重要的發展方向，近期出現了眾多不同類型的商品化微小型近紅外光譜儀器。手持式或便攜式現場快速分析是一種更經濟、更高效、更靈活的方法，具有小體積、低功耗、低成本、便于二次開發等優點，在農業、食品、醫藥、石油化工和安全等眾多領域獲得了廣泛的研究與應用。物聯網技術在智能農業、智能工
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MEMS
由于地震傳感器網絡分布較少（或有限），地震事件的表征和監測之間可能會發生延遲。解決這一問題的其中一種方法是使用基于MEMS的地震傳感器作為傳統傳感網絡的補充。MEMS傳感器體積小，價格實惠，適用于局部監測，也可以提高地震監測能力。無論在哪一年，全世界大約都會發生16次大地震，其中15次是7級，1次是8級或8級以上的地震[1]。因此，地震早期預警(EEW)系統的需求量很大。由日本氣象廳(JMA)管理的覆蓋全國的EEW系統[2]從2006年開始運行。地震臺網由1000個間隔20至25公里的地震臺組成。在201
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Coventor MEMS 地震儀
摘要：泛林集團如何利用MEMS+?仿真模型設計地震儀無論在哪一年，全世界大約都會發生16次大地震，其中15次是7級，1次是8級或8級以上的地震[1]。因此，地震早期預警(EEW)系統的需求量很大。由日本氣象廳(JMA)管理的覆蓋全國的EEW系統[2]從2006年開始運行。地震臺網由1000個間隔20至25公里的地震臺組成。在2011年日本東北9.1級地震之后，日本氣象廳收集了關于EEW系統的反饋：人們對地震預警系統表示熟悉，并發現它們很有用；參與者對JMA EEW系統的功效普遍給予了正面反饋，即使有假警報
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MEMS 監測地震
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